Son illərdə ölkəmizin sensor texnologiyası sürətlə inkişaf edir və onun ərizə sahələri də genişlənir. Təzyiq sensorlar sahəsində ən yetkin ölçmə texnologiyası, yeni texnologiyalar, yeni texnologiyalar və yeni proseslərin ən yetkin növü, yeni materiallar və yeni proseslərdir.
Təzyiq sensoru təzyiq siqnallarını aşkar etmək və müəyyən qaydalara uyğun olaraq elektrik siqnallarına çevirmək üçün istifadə olunan bir cihazdır. Müxtəlif istehsal, sənaye və aerokosmik sahələrdə geniş istifadə olunur. ° C) uğursuz olacaq, nəticədə təzyiq ölçmə uğursuzluğu ilə nəticələndi. Buna görə yüksək temperatur təzyiq sensoru çox vacib bir tədqiqat istiqamətinə çevrilir.
Yüksək temperatur təzyiq sensorlarının təsnifatı
İstifadə olunan fərqli materiallara görə, yüksək temperaturlu təzyiq sensorları polisilicon (poli-si) yüksək temperaturlu təzyiq sensorları, SIC yüksək temperaturlu təzyiq sensorları, soi (silacon) yüksək temperatur təzyiq sensorları, optik lif yüksək temperatur təzyiq sensorları və digər müxtəlif növlər. Soi Yüksək temperaturlu təzyiq sensorları çox idealdır. Aşağıdakılar əsasən SOI yüksək temperatur təzyiq sensorunu təqdim edir.
Soi yüksək temperatur təzyiq sensoru
SOI yüksək temperaturlu təzyiq sensorlarının inkişafı əsasən SOI materialların yüksəlişinə güvənir. Cihazın etibarlılığı. Əlavə olaraq, SOI cihaz qatının yüksək temperatur xüsusiyyətləri səbəbindən yüksək temperaturlu təzyiq sensorlarının hazırlanması üçün ideal bir material olur.
Hal-hazırda, xaricdə yüksək temperaturlu təzyiq sensorları uğurla inkişaf etdirildi və iş temperaturu -55 ~ 480 ° C; Fransız Leti İnstitutu tərəfindən hazırlanan SOI temperaturlu təzyiq sensoru da 400 ° C-dən çox iş temperaturu, Xi'an Jiaotong Universiteti, Tianjin Universiteti və Peking Universiteti kimi SOI yüksək temperatur təzyiq sensorları ilə bağlı tədqiqat aparır. Bundan əlavə, Fatri Gələcək İnkişaf etmiş Texnologiya Tədqiqat İnstitutu da əlaqəli tədqiqat işləri aparır və mövcud layihə nümayiş mərhələsinə daxil oldu.
Soi yüksək temperatur təzyiq sensorunun iş prinsipi
Prinsipcə, soi yüksək temperatur təzyiq sensoru, vahid kristal silikonun piezoresistiv təsirindən istifadə edir. Şəkil 2 (a) -də göstərildiyi kimi bir buğda daşı körpüsünü yaratmaq; Təzyiqə həssas bir quruluş yaratmaq üçün bir təzyiq arxa boşluğu SOI substrat qatında yapışdırılır.
Şəkil 2 (a) buğda daş körpüsü
Təzyiqə həssas bir quruluş hava təzyiqinə məruz qaldıqda, piezoresistor dəyişikliklərinə qarşı müqavimət göstərən, bu da növbədə çıxış gərginliyinin dəyişməsinə səbəb olan və piezoresistorun müqavimət dəyəri arasındakı əlaqə yolu ilə təzyiq dəyəri ölçülür.
Soi yüksək temperatur təzyiq sensorunun istehsal prosesi
Soi yüksək temperaturlu təzyiq sensorunun hazırlanması prosesi çox sayda mems prosesini əhatə edir. Bəzi əsas addımlar, sensorun, əsasən pasoresistor hazırlığı, metal qurğuşun hazırlığı, təzyiqə həssas film hazırlığı və təzyiq kamerası qablaşdırması da daxil olmaqla, bəzi əsas addımlar qısa şəkildə təqdim olunur.
Varistorların hazırlanmasının açarı dopinq konsentrasiyasının nəzarəti və sonrakı ayırma qəlibləmə prosesinin optimallaşdırılması; Metal qurğuşun təbəqəsi əsasən buğda daşı körpüsünün bağlantısı kimi xidmət edir; Təzyiq həssas bir film hazırlamaq əsasən dərin silikon etching prosesinə güvənir; Boşluğun qablaşdırılması, təzyiq sensorunun tətbiqindən asılı olaraq dəyişir,
Mövcud yüksək temperaturlu yüksək temperaturlu təzyiq sensorları yüksək temperaturlu neft quyuları və aero-motorlar kimi xüsusi sərt mühitlərin təzyiq ölçmə tələblərinə cavab verə bilmədiyi üçün yüksək temperaturlu təzyiq sensorları ilə bağlı gələcək tədqiqatlar isə xüsusi quruluşa və yüksək temperaturlu xüsusiyyətlərə malikdir, yüksək temperaturlu təzyiq sensorları üçün ideal materiallar oldu. SOI-nu yüksək temperaturlu təzyiq sensorları ilə bağlı gələcək tədqiqatlar, yüksək temperaturlu sərt mühitlərdə sensorların uzunmüddətli sabitliyini və özünü istilik problemlərini həll etməyə və təzyiq sensorlarının doğruluğunu artırmağa yönəldilməlidir. aspekt.
Əlbətdə ki, ağıllı dövrün gəlişi, həmçinin, özünəməxsus yüksək temperaturlu ekoloji təzyiqin missiyasını daha yaxşı başa çatdırmaq üçün öz-özünə kompensasiya, özünü kalibrləmə və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, öz-özünə kalibrləmə və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, öz-özünə kalibrləmə və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, sensora qədər daha ağıllı funksiyaları və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, sensoru və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, sensoru və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, sensoru və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları, sensoru və məlumat saxlama kimi daha ağıllı funksiyaları və sensora birləşdirilmişdir. .
Time vaxt: fevral-13-2023